精密滑臺的實際使用例

分配器裝置

龍門式XYZ滑臺／滾珠絲杠驅動

映射裝置

晶片樣品臺： XY滑臺

掃描透鏡：單軸執(zhí)行器

搬運裝置（2個零件同時）

XZ滑臺／Z×2臺 安裝

上述列舉的例子是電子領域最具代表性的裝置引進例。

順便說一下，本稿未過多提及滑臺的精度，不同用途所要求的精度水平各式各樣，大致為50µm～5nm，

要求的精度不同，設計上、驅動方式和機構，以及控制方針都不同。